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压电旋转平台

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高精度紧凑型压电旋转台

所属类别:位移台/偏转镜/光学平台 » 精密定位平台/扫描台

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高精度紧凑型压电旋转台


AU-XRT系列压电旋转台是一款紧凑的高精度的旋转平台。该系列旋转台采用轴承技术,使压电旋转平台的径向、轴向和倾斜方向上的旋转误差都非常的小。该系列平移台由滑块驱动和超声波马达两种驱动方式,可进行连续旋转,对角度无限制,并且集成了光学编码器闭环控制,使压电旋转台拥有极高的分辨率和可重复性。

上海昊量光电设备有限公司推出的压电旋转台按照使用马达的不同可以分为两类。

1)使用超声波马达驱动的旋转台,AU-XRT-U系列。

AU-XRT-U系列是由超声波压电马达驱动的紧凑的旋转台。其与空气轴承旋转台拥有相媲美的旋转精度和误差但是却拥有更小的体积和更低廉的价格。与其它压电技术相比超声波压电电机拥有更长的使用寿命、更低的功耗并且无噪声。并且集成了光学编码器闭环控制,精度最高可达到0.0002°,速度最大可达到1080°/s。该系列用AU-XRT-U30和AU-XRT-U40两款旋转台。

Fig1 运动误差测量

Fig2 AU-XRT-U


2)滑块式压电马达驱动旋转台AU-XRT-A.

AU-XRT-A采用滑块式压电马达驱动,利用轴承技术,即使在旋转过程中也可以主动将径向误差运动补偿,AU-XRT-A的径向误差小于500nm,可以与空气轴承精度相媲美,并且体积紧凑价格低廉,并且可以提供真空和磁性应用的产品。

Fig3. 运动误差测量

Fig4.AU-XRT-A旋转台


主要特点

l  高精度(200μ°)

l  高速度(1080°/s)

l  可在真空10-6mbar和磁性(1.5T)条件使用

主要应用

l  微型CT扫描仪

l  X射线衍射系统

l  电子显微镜

l  同步加速器

l  计量学

 

产品参数:


AU-XRT-U30

AU-XRT-U40

AU-XRT-A

Drive   principle:

德国赛车投注ultrasonic   piezo motor

stick-slip

德国赛车投注Radial   error motion:

<   5 µm (-SB) or < 1 µm (-PB)

down   to 500 nm

Axial   error motion:

<   3 µm (-SB) or < 0.5 µm (-PB)

<   1 µm

Tilt   (wobble):

<   50 µrad (-PB)

<   100 µrad

Load   capacity:

<   1 kg

≤   1 N (100 g)

Aperture:

7mm

10   mm (with P sensor) or 1/2’’ (with S sensor


Driving   torque:

14   Nmm

20   Nmm


Holding   torque:

7   Nmm

10   Nmm


Speed:

from   8 m°/s up to 3 rev/s

±   2 rpm

Resolution:

德国赛车投注6.25   m° (-S)

6。25   m° (-S) or 200 µ° (-P)

6.25   m° (-S)





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