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  德国赛车投注  产品信息 位移台/偏转镜/光学平台 精密定位平台/扫描台 亚纳米/纳米平移台(压电直推型,0-1500μm行程)

精密定位平台/扫描台

亚纳米/纳米平移台(压电直推型,0-1500μm行程)纳米平移台(压电马达型,10-1500mm行程)亚微米平移台(直线/步进电机,20-1000mm行程)显微镜专用压电定位/扫描台超小型平移台(亚微米,15mm,已集成电路)超低振动亚微米平移台(气体轴承,1500mm,10-1000KG)大行程二维电控载物台压电旋转平台快速反射镜皮米精度位移测量仪纳米级电容位移传感器 显示全部
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亚纳米/纳米平移台(压电直推型,0-1500μm行程)

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高精度亚纳米压电平移台!

所属类别:位移台/偏转镜/光学平台 » 精密定位平台/扫描台

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姓名:李工(William)

电话:德国赛车投注156 1809 2363(微信同号)

邮箱:wentao-li@jieweikj.com


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高精度亚纳米压电平移台


压电平移台是以压电陶瓷为驱动,以柔性铰链为导向,通过压电陶瓷的形变精确控制平台的移动。该平台可提供X、XY及XYZ等不同维度平台,行程最大可达1500微米。采用硅高精度位移传感器闭环反馈,使平台拥有毫秒级响应速度,亚纳米级的分辨率,并且拥有非常低的底噪。被广泛应用于,超分辨显微、光镊系统、原子力显微镜、显微扫描、光路调整、纳米操控技术、CCD 图像处理、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、纳米压印等。 

昊量光电推出的压电平台按维度可以提供以下产品:

1)单轴压电平台

单轴压电平台是可以在单个维度上提供精确定位的产品,主要包含X压电平台、Z轴压电平台、物镜扫描台、一维快反镜。

①X轴压电平台

一维平台可提供不同行程、中空/非中空等不同类型的产品

型号

AUHS1

AUHS1H

AUC-X。100

AULF1

AUSLR

产品图片


行程(μm)

10/30/50/70/100

30/50/70/100

100

100/200/300

300/500/8001500

分辨率(nm)

0.01/0.03/0.05/0.07/0.1

0。03/0。05/0。07/0。1

0.1

0.1/0.2/0.3

0。3/0。5/0。8/1。5

重复精度(全行程)nm

0。02/0。06/0。1/0。14/0。2

0.06/0.1/0.14/0.2

0.2

0.2/0.4/0.6

0。6/1/1。6/3

本底噪声nm

0.001/0.003/0.005/0.007/0.01

0.003/0.005/0.007/0.01

0.01

0.01/0.02/0.03

0.03/0.05/0.08/0.15

传感器

硅传感器闭环反馈

②Z轴压电平台

型号

Z-stage

C-Z.100

Z-insert

Z-insert-K-TYPE

Z-insert-INC

LT-Z

产品图片

行程(μm)

5/10/25/50

100

100/200/300/500

100/200/300

100/200/300/500

100/200/300/500

分辨率(nm)

0.005/0.01/0.025/0.05

0。1

0.1/0.2/0.3/0.5

0。1/0。2/0。3

0.1/0.2/0.3/0.5

0.1/0.2/0.3/0.5

重复精度(nm)

0。01/0。02/0。05/0。1

0.2

0.2/0.4/0.6/1.0

0.2/0.4/0.6

0。2/0。4/0。6/1。0

0。2/0。4/0。6/1。0

本底噪声nm

0.0005/0.001/0.0025/0.005

0.01

0。01/0。02/0。03/0。05

0。01/0。02/0。03

0.01/0.02/0.03/0.05

0.01/0.02/0.03/0.05

传感器

硅传感器闭环反馈

③物镜扫描台

型号

FOCHS.100

FOC

产品图片

行程(μm)

100

100/200/300

分辨率(nm)

0.1

0.1/0.2/0.3

全行程重复精度(nm)

0。2

0.2/0.4/0.6

本底噪声nm

0.01

0.01/0.02/0.03

传感器

硅传感器闭环反馈

④一维快反镜

型号

TT1.5

产品图片

偏转角度(mrad)

5/10

分辨率(μrad)

0。005/0。01

全行程重复精度(μrad)

0。01/0。02

本底噪声(μrad)

0.0005/0.001

传感器

硅传感器闭环反馈

2)两轴压电平台

两轴压电平台可提供两个维度的平移和偏转主要包括XY压电平台和二维快反镜

①XY压电平台

型号

LFHS2

LTHS2

C2。100

LFS2

LT2

BIO2

LF2

MWP2。800

产品图片

行程(μm)

30/50/75

30/50/75

100

100

100/200/300

100/200/300

100/200/300

800

分辨率(nm)

0.03/0.05/0.075

0。03/0。05/0。075

0。1

0.1

0。1/0。2/0。3

0.1/0.2/0.3

0。1/0。2/0。3

0.8

重复精度(全行程)nm

0。06/0。1/0。15

0.06/0.1/0.15

0。2

0.2

0.2/0.4/0.6

0.2/0.4/0.6

0.2/0.4/0.6

1。6

本底噪声nm

0.003/0.005/0.0075

0.003/0.005/0.0075

0。01

0.01

0.01/0.02/0.03

0。01/0。02/0。03

0.01/0.02/0.03

0.08

传感器

硅传感器闭环反馈

②二维快反镜

型号

TT2.5

产品图片

偏转角度(mrad)

5/10

分辨率(μrad)

0.005/0.01

全行程重复精度(μrad)

0.01/0.02

本底噪声(μrad)

0.0005/0.001

传感器

硅传感器闭环反馈

3)三轴压电平台

产品图片

描述

行程

LT3是一款三维平台,可提供100,200300微米的行程。平台使用硅传感器厚度只有20mm,该平台很容易集成到倒置显微镜中

X-Y-Z
  100μm
  200μm
  300μm


BIO3是一款超低剖面的三维定位平台可集成在任何倒置显微镜中。载玻片可以放置在其矩形孔中

X-Y-Z
  100μm
  200μm
  300μm


LF3是紧凑型3轴压电平台,具有66mm方孔,X轴和Y轴行程范围为100μm,200μm300μmZ轴行程为50μm。   建议要求小尺寸和通光孔时使用。

X-Y
  100μm
  200μm
  300μm

Z

50μm

LFS3是一款3轴纳米定位平台,XY行程为100μmZ行程20μm,通光孔径40 x 40 mm。

X-Y
  100μm
  Z

20μm

LFHS3是一款高速三轴纳米定位台,谐振频率高于2k,通光孔径达66x66mm,可实现高速扫描,阶跃时间可达2ms

X-Y
  75μm

Z

50μm


LTTHS3是一款超薄高速三维定位平台,可配合任何倒置显微镜使用,可实现高速扫描

X-Y
  75μm

Z

50μm

C3.100是一款紧凑型平台,是光纤对准、双光子聚合、激光直写等应用的理想产品

X-Y-Z
  100μm
 
 

CUBE3是一款3轴紧凑型纳米定位平台,可沿XYZ提供100200μm的运动。其紧凑的设计使其成为光纤对准,双光子聚合,激光写入等应用的的理想工具

X-Y-Z
  100μm
  200μm



SPM3平台是一个3轴超高速纳米定位平台,沿XY提供75μm的行程,两个轴上的共振频率高于2kHz。

 SPM3平台的Z轴具有高达50μm的行程范围,谐振频率高达12.5kHz,当与高功率控制器一起使用时,SPM3.5Z轴的阶跃响应时间可以小于毫秒。因此,SPM平台专为要求苛刻的计量应用而设计,例如原子力显微镜。

X-Y
  75μm

Z

5μm

10μm

25μm

50μm



SPM3LR压电平台是3维定位平台,X轴和Y轴的位移为   100μm200μm300μm

Z轴部分的行程最高可达50μm并具有高达12.5kHz的谐振频率。 SPM3LR.xxx.05Z轴的阶跃响应时间可以小于毫秒。

因此,SPM3LR载物台设计用于要求苛刻的计量应用,例如原子力显微镜。

X-Y
  100μm

200μm

300μm

Z

5μm

10μm

25μm

50μm


主要特点


主要应用

高分辨率(0.01nm
大行程1500μm
高速度,谐振频率可达7000Hz
采用硅传感技术

超低底噪
柔性铰链导向

 


纳米刻蚀

超分辨显微镜

原子力显微镜
干涉测量
高速聚焦
自适应光学
超分辨显微镜
粒子追踪

 



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