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激光干涉仪

λ/1000超高精度激光干涉仪!高分辨率激光干涉仪皮米精度位移测量仪 显示全部
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皮米精度位移测量仪

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50pm的重复精度,绝对位置测量,低至纳米尺度位移测量的理想仪器

所属类别:光学检测设备 » 激光干涉仪

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姓名:谷工(Givin)

电话:185 1625 1863

邮箱:zonghao-gu@jieweikj.com


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皮米精度位移测量仪

昊量光电推出的皮米精度位移测量仪quDIS是低至纳米范围位移测量的理想仪器,达到了前所未有50pm的重复精度。quDIS支持三个测量通道,使其可以适用于任意多轴测量应用。皮米精度位置测量仪同样采用激光干涉法,不过与传统激光干涉仪相比,其集成了法珀腔(Reference cavity)及饱和吸收气室(GC)作为频率校准参考,通过激光波长调谐扫描,比较两种不同的干涉图样,可以实现其它设备所不具有的绝对距离测量。因此,皮米精度位移测量仪不仅可以获位置、速度和加速度等信息,折射率、反射率或表面倾斜度等信息也可以从实时信号中得到

干涉传感头

根据反射目标的不同,所有应用都需要不同的准直、聚焦和光束剖面约束。激光束的成型是通过不同的传感器头来实现的。所有的quDIS的传感器头都是基于光纤的,除了标准准直仪和已建立的聚焦头,quDIS还为恶劣环境下的应用程序设计了特殊的头。

用于测量高温漂移物体的传感器头的设计

镍铁合金制造的低热膨胀系数准直头

产品关键特性:

  • 信号稳定性:< 0.05nm

  • 绝对距离测量

  • 0.1——20m工作距离

  • 工作带宽25kHz

  • 目标速度1m/s

  • 3个传感头,多设备同步

应用领域:

  • 干涉距离测量

  • 振动分析

  • 束线中断补充

  • 间隙和边缘测量

  • 环境振动分析

  • 位移台精度评估


皮米精度位置测量仪参数列表:

干涉仪传感头
光源DFB激光器分辨率1pm
功率<400uW信号稳定性< 0.05nm
波长1535nm绝对距离稳定性<200nm
线宽<5MHz带宽25kHz
传感器通道3工作距离0.1—20m
光纤输入端口FC Narrow-Key-Slot目标速度<1m/s
Mating Sleeves传感头真空
同步多台设备同步低温





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产品标签:激光干涉测距,位移传感器,位移补偿,位移精度测量,皮米精度位移激光干涉仪

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