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X射线光学元件

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X射线光栅

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X-ray diffraction grating


Rectangular grooves with period from 0。5 μm
Groove height up to 200 nm
Grating size up to 20×20 mm2

Substrate: Si, SiO2

Coatings:

  • 德国赛车投注thin films W, Al, Au etc. 

  • multilayer mirrors W/Si, Mo/Be, Cr/Sc etc。

  • substrate etching


Multilayer diffraction grating

   period D=2 μm     50 W/Si bilayers (d=50 Å)


2D grating with round reflecting multilayer elements


X-ray focusing


Grazing incidence phase Fresnel zone plates 1D or 2D x-ray focusing
Groove height up to 100 nm

Zone plate size:

  • 1D focusing up to 50×50 mm2

  • 2D focusing up to 20×0.2 mm2


Substrate: Si, SiO2

Coatings: 

  • thin films W, Al, Au etc

  • substrate etching 


                        Central and outermost zones of grazing incidence zone plate


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